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Vorstoß in Grenzbereiche der Messtechnik

Der DFG-Sonderforschungsbereich 622 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen an der TU Ilmenau ist nach der Ausschöpfung des maximalen Förderzeitraums, den die Deutsche Forschungsgemeinschaft gewähren kann, nun zu seinem Ende gelangt.

 

 

In einem Abschlusskolloquium für den DFG-Sonderforschungsbereich 622 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen an der TU Ilmenau zogen die beteiligten Wissenschaftler Bilanz ihrer Leistungen der zurückliegenden elf Jahre. Professor Klaus Augsburg, Prorektor für Wissenschaft der TU Ilmenau, gab seiner Überzeugung Ausdruck, dass die Wissenschaftler den Mut und den Ehrgeiz haben, auch im neuen Kompetenzzentrum den Sonderforschungsbereich inhaltlich zu erhalten: „Der Sonderforschungsbereich ist ein Leuchtturm und ein Synonym für exzellente wissenschaftliche Arbeit. Und das soll er auch bleiben, wenngleich unter einer anderen Bezeichnung.“

Daran ließen sowohl Professor Gerd Jäger, Initiator des Sonderforschungsbereichs und Begründer der interferenzoptischen Präzisionsmesstechnik an der TU Ilmenau, als auch Professor Eberhard Manske, seit 2008 Sprecher des Sonderforschungsbereichs, keinen Zweifel. Jäger hat bereits in einem so genannten Transferprojekt den starken Keim für die Weiterführung der Forschung im Bereich ultrapräzisions Mehrkoordinaten-Messtechnik gelegt.

Unter der Leitung des emeritierten Professors wurde eine Nanopositionier- und Nanomessmaschine der nächsten Generation entwickelt, mit der Bezeichnung NPMM 200. Dabei bedeutet NPMM Nanopositionier- und Nanomessmaschine, die Zahl 200 steht für den dreidimensionalen Arbeitstbereich von 200 mal 200 mal 25 Millimeter. Damit stieß das Forscherteam in bisher nicht erreichte Messdimensionen vor. Ziel war es, eine Auflösung von 0,08 Nanometer zu erreichen. Tatsächlich erreicht wurden 0,02 Nanometer. Die Positionierreproduzierbarkeit lieg bei einem Nanometer, und das bei einer Positioniergeschwindigkeit von 30 Millimetern pro Sekunde.

Manske hob hervor, dass die Anforderungen aus Wissenschaft und Industrie nach hoch präziser Messtechnik enorm wachsen: „Der Trend zur Verkleinerung elektronischer Bauelemente ist ungebrochen. Dieser läuft hin zum atomaren Transistor und zur Dreidimensionierung, das heißt zu 3D-Transitoren und 3D-Speichern.“ Umso wichtiger werde eine dreidimensionale Metrologie, die in der Lage ist, viele Parameter gleichzeitig zu messen. So erwartete Manske eher wachsende Aufgaben im neuen Kompetenzzentrum als Nachfolgestruktur für den Sonderforschungsbereich.

Interdisziplinarität kennzeichnete die wissenschaftliche Arbeit. 14 Fachgebiete waren in die Forschung einbezogen. Hinzu kamen Gastwissenschaftler aus aller Welt von Neuseeland bis Brasilien. Ebenso trugen Partnerunternehmen wie die Ilmenauer SIOS Messtechnik GmbH, Zeiss, Jenoptik, Premetec, Hexagon, die Wetzlarer Mahr GmbH oder Vistec zum Erfolg des Sonderforschungsbereichs bei. 17 Mal wurde die Ilmenauer Nanopositionier- und Nanomessmaschine gebaut. Sie sind inzwischen weltweit im Einsatz.

Zum Sonderforschungsbereich 622

Anlauffoto: Die Nanopositionier- und Nanomessmaschine NPMM 200 mit einem Messbereich von 200 mal 200 mal 25 Millimeter ist weltweit einzigartig. Foto: wr